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微電子器件的功能在很大程度上取決于其晶體結(jié)構(gòu)。高分辨率X射線衍射（HRXRD）是一種無損分析技術(shù)，能夠以亞納米級的精度研究晶體結(jié)構(gòu)-即使是在非環(huán)境或工作狀態(tài)下。使用實(shí)驗(yàn)室X射線衍射儀通過HRXRD研究這些微米級尺寸的器件極其具有挑戰(zhàn)性，因?yàn)樾枰皇∮谒P(guān)注結(jié)構(gòu)的X射線束。鋯鈦酸鉛（PZT）電容器在提高各種電子設(shè)備和系統(tǒng)的功能及性能方面起著至關(guān)重要的作用。由于其能夠在電能和機(jī)械能之間轉(zhuǎn)換，它們被用于需要高精度、控制和高效能量轉(zhuǎn)換的應(yīng)用中。典型的例子包括微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）器...

1應(yīng)用背景在微電子半導(dǎo)體行業(yè)日新月異的現(xiàn)狀，材料質(zhì)量的提升與器件性能的優(yōu)化成為推動(dòng)技術(shù)進(jìn)步的關(guān)鍵因素。碳化硅（SiC）作為一種新興的高性能半導(dǎo)體材料，以其優(yōu)異的導(dǎo)熱性、高擊穿電場強(qiáng)度及耐高溫特性，在電力電子、新能源汽車、航天航空等領(lǐng)域展現(xiàn)出巨大的應(yīng)用潛力。然而，碳化硅器件的性能優(yōu)化并非易事，其涉及到材料質(zhì)量、加工工藝、器件設(shè)計(jì)等多個(gè)層面的精細(xì)控制。在這個(gè)過程中，少數(shù)載流子壽命（少子壽命）作為評價(jià)半導(dǎo)體材料質(zhì)量的重要參數(shù)之一，其精確測量與深度分析顯得尤為重要。2儀器介紹德國弗萊...

D8X射線衍射儀是一種基于X射線與物質(zhì)相互作用原理的精密儀器，它能夠揭示物質(zhì)內(nèi)部的晶體結(jié)構(gòu)信息。自從1895年倫琴發(fā)現(xiàn)X射線以來，這種神秘的光線便開啟了探索物質(zhì)世界的新紀(jì)元。X射線由于其波長與原子間距相當(dāng)，當(dāng)其通過晶體時(shí)會發(fā)生衍射現(xiàn)象，這一特性為研究物質(zhì)內(nèi)部結(jié)構(gòu)提供了可能。D8X射線衍射儀的核心工作原理基于布拉格定律。當(dāng)X射線以特定角度射向晶體時(shí)，如果射線的波長與晶體中原子平面的距離滿足特定的數(shù)學(xué)關(guān)系，就會發(fā)生衍射增強(qiáng)。每一種晶體物質(zhì)都有自己獨(dú)特的衍射圖案，這些圖案就像是物質(zhì)...

X射線顯微斷層成像系統(tǒng)是一種先進(jìn)的成像技術(shù)，廣泛應(yīng)用于材料科學(xué)、生物醫(yī)學(xué)和工業(yè)檢測等領(lǐng)域。這種系統(tǒng)通過結(jié)合X射線技術(shù)和計(jì)算機(jī)重建算法，能夠提供高分辨率的三維圖像，幫助研究人員和工程師深入了解樣品的內(nèi)部結(jié)構(gòu)。以下是對X射線顯微斷層成像系統(tǒng)組成部件的描述：1.X射線源X射線源是整個(gè)成像系統(tǒng)的核心部分，負(fù)責(zé)產(chǎn)生高能X射線束，這些射線穿透樣品后被探測器捕獲。常見的X射線源包括封閉管式和開放式兩種類型。封閉管式X射線源通常用于實(shí)驗(yàn)室環(huán)境，而開放式X射線源則適用于需要更高能量或更大工作空...

太忙，許久沒有寫什么東西。也很少能找到時(shí)間靜下心來去思考一些事情。大環(huán)境太卷，都不知道在卷什么。即便忙到飛起，還是有很多時(shí)間很可惜的浪費(fèi)掉了。解析結(jié)構(gòu)也是如此。有時(shí)忙活半天才發(fā)現(xiàn)，起初的結(jié)論壓根就是個(gè)“苦笑”的錯(cuò)誤。從電報(bào)烏龍看科學(xué)解析的局限培訓(xùn)時(shí)，突然想起初中時(shí)一件啼笑皆非的事情。在那個(gè)還幾乎沒有電話的年代，依稀記得初二那年，語文老師突然接到東北老家發(fā)來的電報(bào)，意思是父親病故速回。語文老師哭紅了眼睛跟我們說她回去幾天。然而一個(gè)禮拜之后語文課上，她十分氣憤地告訴我們這是一個(gè)大...

前言寫這個(gè)的起因，是因?yàn)樽鯠EMO時(shí)犯的一個(gè)錯(cuò)誤。其實(shí)很多測試看起來確實(shí)很簡單，很多高大上的儀器，真正的操作其實(shí)也并沒有什么繁瑣的。甚至從培訓(xùn)的時(shí)候就能看的出來。大部分同學(xué)聽完怎么操作就懶得再聽下去了，于是20人結(jié)果經(jīng)常堅(jiān)持下來的人只有2人。我想大部分使用的人實(shí)際上連布拉格方程是什么都沒有理解。不然也不會有那么多人始終分不清單晶衍射儀和粉末衍射儀的區(qū)別。單晶X射線衍射SC-XRD是為了利用X射線衍射測定晶體的三維結(jié)構(gòu)（實(shí)空間）而設(shè)計(jì)。通過測試單顆晶體，獲取三維空間的倒易點(diǎn)陣信...

飛行時(shí)間二次離子質(zhì)譜（TOF-SIMS）作為重要表面分析技術(shù)，不僅能夠提供有機(jī)材料表面的質(zhì)譜圖、還可以觀測表面離子空間分布以及膜層深度分布信息，展現(xiàn)出了廣泛的應(yīng)用前景和巨大潛力。但是在對有機(jī)樣品進(jìn)行TOF-SIMS分析時(shí)也面對一些挑戰(zhàn)，例如有機(jī)材料導(dǎo)電性差引起荷電效應(yīng)，大質(zhì)量數(shù)離子譜峰難以解析分子結(jié)構(gòu)，以及有機(jī)組分易揮發(fā)導(dǎo)致超高真空環(huán)境下難以檢測到等。在本期文章中，我們將針對這些挑戰(zhàn)來介紹TOF-SIMS對應(yīng)的分析利器。一.有絕緣樣品的荷電中和有機(jī)材料普遍存在導(dǎo)電性較差的問題...

在現(xiàn)代科學(xué)技術(shù)的廣闊領(lǐng)域中，D8X射線衍射儀以其獨(dú)特的功能和精準(zhǔn)度，成為了探索物質(zhì)微觀結(jié)構(gòu)的重要工具。它不僅為科學(xué)家提供了一種非破壞性、高效的分析手段，更在材料科學(xué)、化學(xué)、物理學(xué)等多個(gè)領(lǐng)域發(fā)揮著不可替代的作用。D8X射線衍射儀基于布拉格定律，即當(dāng)X射線照射到晶體上時(shí)，會發(fā)生衍射現(xiàn)象。通過測量衍射角度和強(qiáng)度，可以推斷出晶體的晶面間距、晶胞大小以及原子排列等信息。X射線衍射儀主要由X射線源、樣品臺、探測器和數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)等部分組成。其中，X射線源提供穩(wěn)定且高強(qiáng)度的X射線;樣品臺用于...